반도체 제조사의 공정 개발 속도 향상 및 수율 극대화 지원
어플라이드 머티어리얼즈의 베리티SEM 10(VeritySEM 10)은 EUV(극자외선) 및 새롭게 부상하는 High-NA EUV 리소그래피 공정으로 패터닝된 반도체 디바이스 소자의 패턴 거리측정(CD)을 정밀하게 측정하도록 설계됐다.
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